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進(jìn)步導(dǎo)電性技能
真空條件下,在膜表面構(gòu)成導(dǎo)電性納米級(jí)薄膜的技能,使用于柔性印制電路板、觸摸板通明導(dǎo)電薄膜等產(chǎn)品。
濺射堆積技能
在氬氣中對(duì)方針施加高壓時(shí),便會(huì)構(gòu)成 Ar+ 和電子組成的等離子體。 Ar+ 在電場(chǎng)中加快,會(huì)對(duì)方針產(chǎn)生影響,終究噴射出方針物質(zhì)。 有些情況下,噴射出的原子會(huì)直接沉積到基膜上,而另一些情況下,如果如氧氣等活性氣體混入氬氣中時(shí),則會(huì)沉積出包含方針物質(zhì)和氧氣的化合物。 ITO 通明導(dǎo)電膜便歸于后一種,經(jīng)過彌補(bǔ) In2O3-SnO2 方針物質(zhì)中的氧氣(在分化過程中失去)構(gòu)成。